在线管式PECVD上下料机
产品说明:
在线管式PECVD上下料机是一款将硅片从硅片承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载至硅片承载盒中的设备。
产品优势:
1.速度:6000片/小时;
2.极低的破损:≤0.03%;
3.预留PL工位,可兼容面阵及线扫AOI相机;
4.softtouch设计理念,降低硅片碎片率;
自动装载
低破损率
高产能
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