在线扩散/退火自动上下料机
产品说明:
在线扩散/退火自动上下料机是一款将扩散前的硅片从花篮自动放置到石英舟中,再自动送至扩散炉中,硅片扩散完后,再自动将扩散后的硅片从石英舟中放置到花篮中的设备。
产品优势:
1.速度:12000片/小时;
2.极低的破损:≤0.02%;
3.吸盘印、托齿印痕等综合不良:≤0.02%;
4.兼容方形舟及菱形舟;
5.对应2.38~3.15 mm不同齿距规格的石英舟;
自动放置
低破损率
高产能
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